繰り返し精度(mm):0.005
X、Y測定精度(μm):3.0+L/200
リニアスケール分解能:0.5μm
応用産業:電子、医療、精密ハードウェア、コネクタ、LCDなど
制御システム:組み込みモジュール制御モーター、自己開発ソフト
リニアスケール分解能:0.5μm
光学倍率:0.7~4.5倍
オプションのプローブ:レニショー MCP プローブ
リニアスケール分解能:0.5μm
カメラ:1/3インチカラーCCD
トラベル (mm):300×200
リニアスケール分解能:0.5μm
応用:二次元測定
使用法:光学系
リニアスケール分解能:0.5μm